Интерферометр GLI1000 - это инновационная система для измерения и создания многоосных измерительных систем в литографических машинах. Он работает на основе двухчастотного лазера, который генерирует линейно поляризованный свет с высокой мощностью и большой разницей частот. Это позволяет точно измерять осевые смещения с быстротой и точностью.
Основные особенности и функции GLI1000:
- Применение в фотолитографических машинах для высокоточных измерений.
- Прошел проверку национального крупного проекта «Технология производства сверхбольших интегральных схем и полный процесс».
- Использование двухчастотного лазера с линейно поляризованным светом.
- Более точная система измерений с минимальными нелинейными ошибками.
- Возможность предоставления продуктов с различными разницами частот в диапазоне от 1 до 20 МГц для различных скоростей измерений.
- Удобная конструкция отдельного источника света и блока приема измерительного сигнала для создания многоосных измерительных систем, например, этапов смещения XY.
- Использование оптоволоконной приемной головки для измерения сигналов, что позволяет установить ее даже в ограниченном пространстве.
- Стандартные размеры и интерфейс данных, которые могут быть прямо заменены на существующие продукты интерферометра фотолитографической машины.
В итоге, интерферометр GLI1000 представляет собой надежную и удобную систему для точных измерений и создания многоосных измерительных систем в литографических машинах.
Технические характеристики двухчастотного лазерного интерферометра GLI1000:
- Длина волны лазера: 632,9905 нм (типичное значение)
- Размеры лазерной головки: 330х110х130 мм
- Высота светоотдачи: 79,5±1,0 мм
- Выходная мощность света: 0,5 – 1,0 мВт
- Размер света: 3/6/9 мм
- Двойная разница частот: 1,0 – 20,0 МГц (может быть настроена более высокая разница частот)
- Точность стабилизации частоты: ±0,02 ч/млн
- Разрешение: <0,3 нм
- Время предварительного нагрева: <20 мин
- Напряжение питания: ±15 В
|
Модель |
Разница частот динамического лазера (МГц) |
| GLI1000A | 1.5±0.5 |
| GLI1000B | 2.5±0.5 |
| GLI1000C | 3.5±0.5 |
| GLI1000D | 4.5±0.5 |
| GLI1000DL | 5.5±0.5 |
| GLI1000EL | 6.5±0.5 |
| GLI1000FL | 7.5±0.5 |
| GLI1000GL | 8.5±0.5 |
| GLI1000H | 9.5±0.5 |
| GLI1000I | 10.0-20.0 (по индивидуальному заказу) |
|
Примечание: Двухчастотный лазер с большей разностью частот и меньшим диапазоном разности частот можно настроить в соответствии с требованиями Заказчика. |
|
Комплектация лазерного интерферометра с обратной связью GLI1000:
|
Лазерная головка |
Электрическая коробка обработки сигналов |
|
ПТЗ |
Штатив |
|
Инструментальный ящик |
Сумка для переноски штатива |
|
Карта адаптера датчика |
Датчик окружающей среды |
