Технические характеристики Видеоизмерительной машины VM3500/8500:
| Модель | VM3500 | VM8500 | ||
| Датчик изображения | 5 млн. пикселей CMOS | 20 млн. пикселей CMOS | ||
| Дисплей | 24 дюйма LCD дисплей (XGA: 1920x1080) | |||
| Светоприемная линза | Бителецентрический объектив высокого разрешения | |||
| Система освещения | Система подающего света | Четырехсекционное освещение (белый свет), круговое направленное освещение (зеленый свет) | ||
| Система пропускающего света | Центробежное проходящее освещение (зеленый свет) | |||
| Измерение обзора | Широкий обзор, мм | 500×400 мм (4 угла R50) | ||
| Высокая точность, мм | 430×330 мм | |||
| Повторная точность | Широкий обзор | Предметный столик не перемещается | ±1 мкм | ±1 мкм |
| Предметный столик перемещается | ±2 мкм | ±2 мкм | ||
| Высокая точность | Предметный столик не перемещается | ±0.5 мкм | ±0.5 мкм | |
| Предметный столик перемещается | ±1.5 мкм | ±1.5 мкм | ||
| Точность измерения | Без соединения*1 | Широкий обзор | ±5 мкм | ±3 мкм |
| Высокая точность | ±(7+0.02L)мкм | ±(5+0.02L)мкм | ||
| С соединением*2 | Широкий обзор | ±2 мкм | ±1.5 мкм | |
| Высокая точность | ±(4+0.02L)мкм | ±(3+0.02L)мкм | ||
| Измерение высоты (опционально) | Измеряемый диапазон (XY) | 300×300 мм | ||
| Максимальный коэффициент глубины отверстия (h/4) | 1.5 | |||
| Ось Z не перемещается | Высота | ±3.5 мм | ||
| Точность | ±2 мкм | |||
| Ось Z перемещается | Высота | 200 мм | ||
| Точность | ±(6+L/100)мкм | |||
| Диаметр измерительной головки | 38 мкм | |||
| Разрешение | 0.25 мкм | |||
| Лазерный датчик линейного сканирования | Поддерживает | |||
| Дальность хода | X (мм) | 410 | ||
| Y (мм) | 310 | |||
| Z (мм) | 200 | |||
| Спецификация горизонтальной поворотной платформы | Угол поворота | Диапазон 360°, Разрешение 0,01° | ||
| Скорость вращения | 0.2~2 об/с | |||
| Максимально измеряемый диаметр | 60 мм | |||
| Разрешение растрового изображения | 0,1 мкм | |||
| Размер (ДхШхВ), мм | 900×1340×1600 | |||
| Нагрузка, кг | 20 | |||
| Вес оборудования, кг | 950 | |||
| Измерительное ПО | VSX | |||
| Рабочее напряжение | AC200-240 В, 50/60 Гц, 10A, 2500 Вт | |||
| Рабочая среда | Температура 10°C~35°C, Влажность 20~80% (без конденсации) | |||
Примечание:
*1 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20 °C±1,0 °C, с точностью измерения ±2σ.
*2 В позиции фокусировки, при температуре окружающей среды 20 °C±1,0 °C, грузоподъемность предметного столика составляет менее 2 кг, с точностью измерения ±2σ, где L- величина перемещения (мм) предметного столика.
