Технические характеристики микроскопа CX-300
| Характеристика | Описание |
| Тип катода | Термоэмиссионный (W) |
| Пространственное разрешение |
SE 30 кВ: <3 нм SE 15 кВ: <5 нм BSE 30 кВ: <5 нм |
| Увеличение | До 500 000 крат |
| Ускоряющее напряжение | 1-30 кВ с шагом 1 кВ |
| Диапазон перемещений предметного столика |
XY: 100 мм Z: 55 мм R (поворот): 360° T (наклон): -20~90° |
| Детекторы | SE (типа ETD), BSE (опция) |
| Режимы вакуума |
HV (высокий вакуум) LV (низкий вакуум, опция) VP (переменный вакуум, опция) |
| Вакуумная система |
Форвакуумный насос (100 л/мин) Турбомолекулярный насос (80 л/сек) |
| Массогабаритные параметры основного блока микроскопа | 640 (Ш) × 682 (Д) × 1455 (В) мм, 200 кг |
| Программные функции |
Автофокусировка, автоконтраст, автояркость, микширование сигналов с двух детекторов электронов в заданном соотношении, инструменты для проведения измерений линейно-угловых и площадных параметров объектов исследований, инструменты для аннотирования, модуль сшивки мультимасштабных изображений |
| Формат получаемых изображений | JPG, TIFF, BMP, PNG |
| Дополнительные опции |
EDS (EDX), EBSD, STEM NaviCam (навигационная камера) ИК-камера для контроля рабочего расстояния (между полюсным наконечником электронной колонны и поверхностью образца) Охлаждающий столик ПО для анализа структуры волокон Динамический фокус (коррекция электроннооптических артефактов, возникающих при наклоне образцов) Вакуумный шлюз Внешний держатель с защитой чувствительных образцов от воздействия воздуха Улучшенный режим отображения картинки в реальном времени (LiveView) |
Области применения микроскопа CX-300
- Материаловедение и нанотехнологии: исследование структуры металлов, сплавов, полупроводников, полимеров и создание новых наноматериалов.
- Биология и медицина: изучение ультраструктуры клеток, органелл, детальное исследование вирусов (вирусология), бактерий и структуры белков.
- Микроэлектроника: контроль качества полупроводниковых пластин, инспекция микросхем, поиск дефектов в процессорах и элементах памяти.
- Криминалистика: экспертиза вещественных доказательств (анализ микрочастиц, следов пороха, волокон, подделок).
- Геология и минералогия: анализ состава и кристаллической структуры минералов, горных пород и полезных ископаемых.
- Фармацевтика: разработка новых лекарств и вакцин, точный контроль доставки действующих веществ в клетки и анализ химической структуры компонентов.
- Энергетика и аккумуляторы: исследование процессов деградации батарей, поиск причин образования микротрещин (дендритов) и разработка сверхпроводников.
- Нефтегазовая отрасль и петрофизика: анализ пористости керна (образцов горных пород) для точной оценки запасов углеводородов и моделирования пластов.
- Органическая химия и катализ: изучение структуры полимеров, гетерогенных катализаторов и механизмов химических реакций на молекулярном уровне.
- Авиастроение, космонавтика и автомобилестроение: глубокий анализ усталости металлов, причин разрушения деталей (фрактография) и оценка прочности композитных материалов.
- Археология и палеонтология: идентификация древних микрофоссилий (ископаемых остатков), изучение состава древних пигментов, красок и отслеживание процессов старения артефактов.
- Экология: обнаружение и анализ частиц микропластика в воде и почве, изучение накопления тяжелых металлов в тканях растений.
- Пищевая промышленность: исследование микроструктуры продуктов питания, изучение поведения бактерий и микромицетов (например, при производстве сыров или контроле порчи продуктов).
- Нанолитография: создание первичных структур для полупроводниковых элементов посредством воздействия электронного пучка на специальный фоторезист.
Примеры получаемых изображений
|
Поперечное сечение печатной платы с металлическими дорожками  |
Чешуйки хитина на панцире насекомого  |
Горная порода (сланец)  |
Порошковый никель  |
Полимерные нетканые волокна  |
Микроразмерные шарики олова  |
|
Возможности применения анализа больших площадей  |
||
Комплектация микроскопа CX-300
- Основной блок микроскопа с установленным детектором SE (вторичных электронов), включая все кабели, необходимые для подключения микроскопа к сети и рабочей станции оператора;
- Форвакуумный роторный насос (вне корпуса микроскопа) и турбомолекулярный насос (внутри корпуса микроскопа) с режимом высокого вакуума;
- Рабочая станция оператора;
- Комплект ЗИП, включающий в себя инструменты (ключи, отвертки, модуль для замены катодов, держатели для крепления образцов и т.д.) и расходники (углеродный токопроводящий скотч, серебряная паста на полимерной основе, набор прецентрированных сменных катодов), необходимые для обеспечения работы микроскопа и минимального технического обслуживания;
- ИБП двойного преобразования;
- Комплект документов: руководство пользователя на русском языке (по запросу на англ. языке), формуляр на оборудование. Копия описания типа средства измерения, копия методики поверки, копия свидетельства о внесении СИ в госреестр, копия свидетельства о первичной поверке.
